Titàn rotation silenn sib

Li se yon eleman ki itilize nan pwosesis depo fizik vapè (PVD), ki se yon metòd pou depoze fim mens nan materyèl sou yon substra. Objektif tib Titàn la fèt ak pi bon kalite Titàn epi li gen fòm yon silenn ki vire pandan pwosesis PVD la.

Pwosesis PVD la travay lè l sèvi avèk yon arc elektrik oswa magnetron sputtering pou vaporize materyèl sib la, nan ka sa a, Titàn, epi depoze li kòm yon fim mens sou yon substra. Sib silenn wotasyon an pèmèt pou yon depo plis inifòm nan fim nan Titàn sou substra a.

Benefis ki genyen nan lè l sèvi avèk nan pwosesis PVD gen ladan pite segondè nan fim nan depoze, gwo pousantaj depo, ak adezyon fim amelyore. Titàn rotary objektif yo pou magnetron sputtering fèt ak bon jan kalite materyèl Titàn epi li fèt pou kenbe tèt ak tanperati ki wo ak estrès mekanik pandan pwosesis PVD la.

Entwodiksyon spesifikasyon

Kalite gwosè nòmal:

Avantaj nou

Objektif Titàn nou bay yo gen ti grenn, distribisyon inifòm, pite segondè, enklizyon kèk, ak pite segondè. Se fim nan depoze TiN yo itilize nan dekorasyon, zouti, semi-conducteurs ak lòt jaden, ak adezyon bon, kouch inifòm ak koulè klere.

--Pite

Pou pwodwi yon sib ki kalifye sputtering Titàn, pite se youn nan endikatè pèfòmans enpòtan li yo. Pite sib la Titàn gen yon gwo enfliyans sou pèfòmans nan kouch la sputter. Pi wo pite a nan sib la Titàn, mwens patikil eleman enpurte nan fim nan sputtered Titàn, sa ki lakòz pi bon pèfòmans kouch PVD, ki gen ladan pi bon rezistans korozyon ak pwopriyete elektrik ak optik. Sepandan, nan aplikasyon pratik, sib Titàn pou diferan rezon gen diferan kondisyon pou pite. Se materyèl la sib yo itilize kòm sous la katod nan sputtering, ak eleman yo enpurte ak enklizyon porosite nan materyèl la se sous yo polisyon prensipal nan fim nan depoze. Enklizyon porosite yo pral fondamantalman retire pandan tès la ki pa destriktif nan ingot la, ak enklizyon yo porosite ki pa retire yo pral lakòz egzeyat pandan pwosesis la sputtering, kidonk afekte bon jan kalite a nan fim nan; kontni an nan eleman enpurte ka sèlman reflete nan rezilta tès yo nan analiz eleman konplè, pi ba kontni an enpurte total, pite a pi wo nan sib la Titàn.

--Dansite

Dansite se tou yon faktè enpòtan nan mezire kalite sib Titàn. Yo nan lòd yo diminye porosite nan solid la sib ak amelyore pèfòmans nan fim nan sputtered, se sib la anjeneral oblije gen yon dansite ki pi wo.

Dansite sib la afekte pa sèlman to sputtering, men tou, pwopriyete elektrik ak optik fim nan. Pi wo dansite sib la, se pi bon pèfòmans fim nan. Anplis de sa, ogmante dansite ak fòs sib la pèmèt sib la pi byen kenbe tèt ak estrès tèmik pandan sputtering. Dansite se tou youn nan endikatè pèfòmans kle nan sib la.

--Gwosè patikil ak distribisyon li yo

Tipikman, sib sputtering yo se estrikti polikristalin ak gwosè grenn sou lòd nan plizyè mikromèt ak plizyè milimèt. Pou menm sib la, pi piti gwosè patikil sib la, se pi vit vitès sputtering sib la; nplis de sa, sib la ak pi piti diferans gwosè patikil ka sputter yon fim ki gen yon epesè plis inifòm. Etid la te jwenn ke si gwosè grenn nan sib Titàn kontwole anba a 100 μm, epi varyasyon gwosè grenn lan kenbe nan 20%, bon jan kalite a nan fim nan sputtered ka anpil amelyore.

--oryantasyon kristalografik

Titàn gen yon estrikti egzagonal fèmen-chaje. Depi atòm yo nan sib la Titàn yo fasil sputtered nan direksyon egzagonal fèmen-chaje nan atòm yo pandan sputtering, yo nan lòd yo reyalize yon pousantaj sputtering ki pi wo, estrikti nan kristal nan sib la ka chanje pa chanje metòd la. pou ogmante pousantaj sputtering la. Direksyon kristalografik nan sib Titàn tou gen yon gwo enfliyans sou inifòmite epesè fim nan sputtered.

--Inifòmite estriktirèl

Inifòmite estriktirèl se tou youn nan endikatè enpòtan yo egzaminen bon jan kalite a nan sib la. Pou sib Titàn, se pa sèlman avyon an sputtering nan sib la, men tou, konpozisyon nan direksyon nòmal, oryantasyon grenn jaden ak inifòmite gwosè mwayèn grenn nan avyon an sputtering yo mande. Se sèlman nan fason sa a, sib la Titàn ka jwenn yon fim Titàn ak epesè inifòm, bon jan kalite serye ak gwosè grenn ki konsistan an menm tan an pandan lavi sèvis li yo.

Ka spesifikasyon

Vitès wotasyon: sib la ta dwe kapab wotasyon nan vitès jiska plizyè milye RPM pou reyalize yon pousantaj depozisyon ki pi inifòm epi pwolonje lavi sib la.

Refwadisman: Objektif tib Titàn la ta dwe refwadi dlo pou gaye chalè ki pwodui pandan pwosesis depozisyon an epi anpeche domaj nan sib la.
Fè bak plak: Yon plak fè bak Titàn tipikman itilize sipòte sib la silenn wotasyon epi bay kontak elektrik.
Metòd lyezon: Se sib la anjeneral estokaj sou plak la fè bak lè l sèvi avèk lyezon difizyon oswa lòt metòd lyezon wo-fòs asire bon konduktiviti tèmik ak elektrik.
Pite: sib rotary Titàn yo pou magnetron sputtering ta dwe gen yon wo nivo de pite pou misyon pou minimize enpurte yo nan fim yo depoze epi asire pèfòmans konsistan. Nivo enpurte a ta dwe mwens pase 1000 pati pa milyon (ppm) pou pifò aplikasyon yo.

An jeneral, espesifikasyon yo nan yon sib silenn wotasyon Titàn yo pral varye depann sou kondisyon yo aplikasyon espesifik, epi yo ka sib la dwe Customized satisfè bezwen sa yo.

Baj popilè: Titàn Rotary Targets pou magnetron sputtering, sib tib Titàn